Vakumski prekidač je tip prekidača dizajniran za praćenje određenog raspona nivoa vakuuma; poznat je i kao vakuumski relej. Njegova funkcija je da automatski otvori ili zatvori kontrolni krug-i istovremeno generira električni signal-kada stvarni nivo vakuuma generiran tokom rada dostigne unaprijed određeni zahtjev, čime daje instrukcije mehanizmu vakuumske adsorpcije da izvrši svoj normalan rad. Klasifikovan je kao komponenta kritična za pouzdanost i sigurnost.
Vakumski prekidači su kategorisani u tri tipa: mehanički, poluprovodnički i pneumatski most. Mehanički vakuumski prekidači određuju promjene u vakuumskom pritisku korištenjem mehaničkog pomaka-primjer čega je membranski-vakumski prekidač. Nasuprot tome, poluvodički vakuumski prekidači koriste poluvodičke senzore pritiska za otkrivanje promjena u vakuumskom tlaku i sposobni su direktno pretvoriti detektovane signale pritiska u električne signale.
